石墨熱場生產中(zhōng)的常見(jiàn)問題
今天,我們就來具體的聊一聊石墨熱場生(shēng)產(chǎn)中的常見問題,我(wǒ)們應該怎樣應對。
熱場的組成部分如加(jiā)熱器、三瓣堝、石墨托、熱屏等均由石墨加工而成。在生產過(guò)程中,經常能碰到加熱器件損壞的現象,那麽石墨器件(jiàn)損壞的原因是什麽,應該采取什麽樣的措施來延(yán)長石墨(mò)器件的壽命呢?石墨器件的(de)損壞,主要有人為和劣化兩個方麵的原因。人為方麵隻要加強管理,強化員工(gōng)防範意識,就可以將損失降到最低點。這裏主要討論(lùn)劣化。首先我們來了解石墨的有關特性,1.耐高溫(wēn)性,石墨的熔點極高,在真空為3850度,在低壓下升華,升華(huá)溫(wēn)度為2200度,與一般材料不同,當溫度(dù)升高時(shí)石墨不但不軟化,強度反而增高,在2500度時,石墨的抗拉強度反而增(zēng)加一倍。 2.特殊的抗熱震(zhèn)性,石墨的熱膨脹性具(jù)有各向異性,因(yīn)而宏觀膨脹係數不大,在溫度驟變的情況下(xià),石墨的體積變化也不大,再加上其良好的導(dǎo)熱性能,因而石(shí)墨的抗熱(rè)震性良好。 諸上兩點所述,石墨件應該(gāi)能夠(gòu)長時間(jiān)的在高(gāo)溫下(xià)穩定工作。
隨著(zhe)社會經濟的(de)發展,很多單晶矽生(shēng)產(chǎn)廠家在石墨熱場的應用都是比較熟練的,原因是有兩點:第一、石墨氈(zhān)保溫效果好,厚度達到100毫米,有效的保證了徑向梯度溫度可能小的條件,第二、熱長(zhǎng)達的原因可以是(shì)石墨(mò)坩堝的厚度達到250毫米,紮樣(yàng)可以是上中下保溫桶的口徑也會足夠大,有充分的縱向的散熱功能。眾所周知石墨坩(gān)堝使用方法上的存(cún)在的問題(tí)就會導致石墨坩堝使用時間減少,從而也給生(shēng)產商(shāng)自己(jǐ)增加了成本。
在通常(cháng)情況下(xià),瓣堝與(yǔ)其他石墨器件如保溫罩、加熱器相比,都是同樣的材料、同一個廠(chǎng)家、同樣的工作環境,為什麽使用壽命遠遠低於保溫罩和加熱器呢? 三瓣(bàn)堝的斷裂主要原因來(lái)自於(yú)石英坩堝。
1.由於(yú)熔矽的密度要大於固體矽,這樣在冷卻過(guò)程中,鍋底料會撐(chēng)破石英坩(gān)堝,而石英坩堝是貼合於三瓣堝的,當石英坩堝破裂而產生的應(yīng)力大於三瓣(bàn)堝承受的應力時,三瓣(bàn)堝就會斷裂,這就是為什堝底料剩餘過多會撐破三瓣堝(guō)的原(yuán)因。
2.加熱時間過長、石英坩堝質量不過關、原(yuán)料酸堿度(dù)未達到要求,會導致漏矽和滲矽,熔矽滲入三瓣堝之間的縫隙之間冷(lěng)卻後一是撐(chēng)壞三瓣堝,二是使三(sān)瓣堝相互粘接,在清爐時,使(shǐ)其分(fèn)離有可能造成斷裂。
3.在加熱過程中唯有三瓣堝的熱源來自兩個方麵,一(yī)是加(jiā)熱器的輻射,二(èr)是來自於石(shí)英坩堝的傳(chuán)導,這就導致三瓣堝受熱不(bú)勻,加熱時沿某些方向膨脹,沿另一些(xiē)方向收縮(suō),從而導致三瓣堝斷裂。
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