石墨舟該(gāi)如何清洗?注(zhù)意(yì)事項有哪些?
捷誠石墨的小編為大家整理一些有關於石墨舟清洗方法及(jí)注意事項:
1、新舟在(zài)第一次使用前建議(yì)使用去離子水+10%(體積比)的氫氟酸進行清洗約3~5小時;再用去離子水進行漂(piāo)洗8~12小時;直到確認舟(zhōu)體沒有酸性成分,可(kě)在漂洗後用PH試紙測試用過的水或洗過(guò)的舟(zhōu),以確認清(qīng)洗結果。然後按照要求進行烘幹。
2、使用後石墨舟的清洗:SHF的石墨(mò)舟一般在使(shǐ)用100-150次左右(yòu)需要對其表麵(miàn)的氮化矽進行清洗。建議使(shǐ)用濃度15-25%的氫氟酸溶液,分三輪次來清洗,每次4-5小時(shí),並在浸泡清洗的過程中進(jìn)行周期性氮氣鼓泡,加半小時左右的清洗;注(zhù)意:鼓泡不(bú)建議直接使用空氣作為氣源。酸洗(xǐ)後用純水漂洗10小時左右,並確認舟已經徹底清洗幹淨,請在清洗結束後檢查舟的(de)表麵、石墨卡點和舟片結合處、以及其它部(bù)位(wèi)是否還有氮化矽的殘餘。然(rán)後按照要(yào)求(qiú)進行烘幹。
清洗注意事項:
1.由於(yú)HF酸屬於強腐蝕性物質(zhì)並有一定的揮發性,對操作人員有一定的危險性(xìng)。因此清洗崗位操(cāo)作人員必須做好安全防護(hù),並進行專人管理。
2.建議在清洗(xǐ)時(shí)將舟拆開後隻對石墨部位進行清洗,這樣能將(jiāng)各個接觸部位(wèi)清洗的更徹底。目前國(guó)內很多廠(chǎng)家采用整體清(qīng)洗(xǐ),雖然方便,但由於HF酸對陶瓷部件有(yǒu)一定的腐(fǔ)蝕(shí)性,整體清洗會縮(suō)短相應部件的使用壽命。
石(shí)墨(mò)舟烘幹
1.清洗後的(de)石墨舟應(yīng)先進行風淋(lín)或至少吹幹一段時間,確保舟表麵沒有水滴或(huò)水痕,再放進烘幹箱。請勿(wù)直接將剛清(qīng)洗完的石墨舟放進烘幹箱。
2.將烘幹箱溫度設定(dìng)在100-120攝氏度,運行和保持時間為(wéi)10-12小(xiǎo)時,可(kě)結合生產周期確定一(yī)個固定的烘(hōng)幹時(shí)間段(duàn)。
3.建議使用有定時功能和循環排風的烘幹(gàn)箱,這樣烘烤的水(shuǐ)蒸氣(qì)可直接被抽掉,以(yǐ)避免水蒸氣因無法排(pái)出而妨礙石墨舟徹底烘幹。
石墨舟預處理(飽和)
1.進入PE爐管前應再次檢查石墨舟是(shì)否完好。建議預處理(飽和)正常時間在200-240分鍾;隨著石墨舟(zhōu)清洗次數的增多及時間的(de)增加,其飽和時間需(xū)要相應延長。
2.建議不在空舟(zhōu)狀態(tài)下進行預處理,最好裝上假片或廢(fèi)片;雖然操作程序較長,但可縮短預處理時間(jiān),並(bìng)可延長舟的使用壽命。
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