石墨(mò)舟的工作原理是什麽
發布時間:2022-02-16 10:34:36
石墨舟(zhōu)工作原理(lǐ):
空氣通過高效過濾後,阻尼層均(jun1)壓,使潔淨的空氣氣流垂直單向送入裝(zhuāng)片工(gōng)作區,從而保證了工作區內達到(dào)工藝要求的潔淨度,操作人員在潔淨的環境中往石墨舟(zhōu)上裝矽片。
石墨(mò)舟主要特點:
1、能準確的使石墨舟承載裝片車定位;
2、PECVD承載車在裏麵可傾(qīng)斜15度或旋轉180度;
3、采用不鏽(xiù)鋼(gāng)製造,整機結構堅固可靠;
4、淨化風機噪音小於50dB。
5、采用GK係列高效空氣過(guò)濾器3隻;
6、保證(zhèng)了工作區內達到工藝要求(qiú)的潔淨度100級。
石墨舟裝片房:用於太(tài)陽能行業與PECVD承載車(chē)配套、裝(zhuāng)取矽片、配製中(zhōng)效及高效過濾器,確保(bǎo)吹出的空氣達到淨化要求。