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單晶爐石墨熱場都(dōu)有(yǒu)哪些主要組件?

作者:http://www.hryok.com 發布時間:2023-02-14 11:39:05

  在太陽能光伏(fú)產業中(zhōng),單晶矽的質量(liàng)直接關係(xì)到單晶矽的(de)質(zhì)量。合格的熱場可以生(shēng)長(zhǎng)出高質量的單晶,所以創造良好的熱場條件(jiàn)在直拉單晶技術中有一個非常重要的因素(sù)。石墨是單晶生長的載體(tǐ)。在(zài)直拉單晶生長爐中(zhōng),高純石(shí)墨和等靜壓石墨是主要的石墨工件。

  根據實際情況的(de)需要,熱場的大小按應時坩堝的直(zhí)徑來劃分。目前我國熱(rè)場從φ 12”到φ 28”不等,一般情況(kuàng)下以φ 18”到φ 22”居多。

  我們這裏說的單晶爐的熱係統就是所(suǒ)謂的熱場,一般包括壓環、保(bǎo)溫(wēn)罩、上、中、下保溫(wēn)罩(zhào)、(三瓣)石墨坩堝、坩堝支(zhī)撐杆、坩堝托盤、電極、加(jiā)熱器、導流管、石墨螺栓。為了防止以後漏矽(guī),爐(lú)底、金屬電極、支撐杆都配有保護板和保護套。

1、保溫罩(zhào)

保溫罩分為(wéi)上保溫罩、中保溫罩和下保溫罩,保溫(wēn)罩由保溫筒(tǒng)外包裹石墨碳氈構成,石(shí)墨碳氈包裹的層數視情況而(ér)定。下保(bǎo)溫蓋構成底部保溫係統,用於加強鍋底保溫(wēn),提高鍋底溫度,減少熱量(liàng)損失。

2、絕緣蓋和通風管

絕緣罩由絕緣上罩、絕緣碳氈和絕緣下罩組成(chéng),即兩層環形石墨中間夾有一層(céng)石墨碳氈。導流(liú)管主要用於控製熱場的溫度(dù)梯度,並在以後引導氬氣流動。

3、壓力(lì)環(huán)

石墨壓(yā)環(huán)是(shì)由若幹圓弧組成的圓形(xíng)石墨片,放置在蓋板與爐壁的接觸處,防止熱量和氣體通過壁爐與蓋(gài)板之(zhī)間的縫隙。

4、加熱器

加熱器是熱場中非(fēi)常重要的一部(bù)分,是直接加熱體,溫度高的時候可以達到1600度以上。常見的加(jiā)熱器有圓柱形、杯形和螺旋形三種形狀。一(yī)般來說,加(jiā)熱器由高純度石墨製成。

5、石墨電極

石墨電極的作用是穩定地固定加(jiā)熱器,並通過其他加熱器輸送電流。所以電極要厚(hòu),耐(nài)用,光滑平整,保證良好的(de)接觸麵。通(tōng)電時不打火,石墨電極也是用高純石(shí)墨加工的。

6、石墨坩堝、石墨支(zhī)撐杆和石墨托盤

坩堝支(zhī)撐(chēng)杆、坩堝和(hé)托盤共同構成石墨(mò)坩堝的支撐體,應與下(xià)軸結合牢固。當下軸轉動時,中性好,擺率小於(yú)等(děng)於0.5毫米的石墨支撐體的高度可以調節。


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