石墨舟（zhōu）裝片房和石墨舟裝載房是做什麽（me）用的（de）？

石墨舟裝片房和石墨舟裝載房是做什麽（me）用的？

深（shēn）圳石墨模具舟晶圓裝載室：太陽能行業使用，配合PECVD載具（jù），裝載矽片，準備中（zhōng）效、高效過濾器（qì），保證吹送的空（kōng）氣達到淨化要求。

深圳石墨模具舟的工作原（yuán）理：

空氣經過高效過濾後，阻尼層被均勻壓緊，使潔淨的（de）氣流垂直單向送入晶片裝載工作區，保證（zhèng）了（le）工作區的清（qīng）潔度達到工（gōng）藝要求，操作人員在潔（jié）淨的環（huán）境下將矽片裝載到石墨舟內（nèi）。

深圳石墨模具船的主要特點：

1.石墨舟（zhōu）裝卸車能（néng）夠準確定位；

2.采用不鏽鋼製造，整機結構牢固可靠；

3.使用三個GK係列高效空氣過濾器。

4.PECVD載具可傾（qīng）斜15度或內部旋轉180度；

5.淨化風機噪音小於50dB。

6.確保（bǎo）工作區（qū）的潔淨（jìng）度（dù）達（dá）到工藝要求的100級。

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